| 碳化硅物理性能參數(shù) | ||||||
| 技術(shù)參數(shù) | 單位 | 反應(yīng)燒結(jié) | 無(wú)壓燒結(jié) | 反應(yīng)燒結(jié)+碳 | 無(wú)壓燒結(jié)+碳 | 微空無(wú)壓燒結(jié)+碳 |
| 硬度 | HS | 110 | 115 | ≥105 | ≥110 | ≥100 |
| 顯氣孔率 | % | <0.3 | <0.2 | <0.5 | <0.5 | <5 |
| 體積密度 | g/cm3 | 3.00~3.05 | >3.10 | 2.69-2.90 | 2.70-3.0 | 2.65 |
| 抗壓強(qiáng)度 | MPa | >2200 | >2500 | >1400 | >1600 | >800 |
| 抗彎強(qiáng)度 | MPa | >350 | >380 | >150 | >160 | >100 |
| 熱膨脹系數(shù) | 10-6/oC | 4 | 4.2 | 3.5 | 3 | 2.5 |
| 碳化硅含量 | % | ≥90 | ≥98 | ≥85 | ≥92 | ≥90 |
| 游離硅含量 | % | ≤10 | ≤1 | ≤12 | / | / |
| 彈性模量 | GPa | ≥400 | ≥410 | ≥350 | ≥360 | ≥180 |
| 使用溫度 | oC | 1300 | 1400 | 1300 | 1400 | 1400 |
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